MICROSCOPIO ELECTRÓNICO DE BARRIDO CON LITOGRAFÍA


Dr. Mauricio Isaacs


















El microscopio electrónico FESEM de alta resolución posee tecnología ESEM mediante la cual se pueden caracterizar muestras conductivas y no conductivas con imágenes de SE y BSE (Detector retro-dispersados). ESEM permite hacer análisis de imágenes no conductoras y/o especímenes hidratados, minimizar la cantidad de preparación de la muestra bajo vacío y la capacidad de bajo vacío extendido y variable hasta 650 Pa, lo que implica la posibilidad de observación de una amplia variedad de muestras sin necesidad de recubrimiento (análisis no destructivos).

PRESTACIÓN DE SERVICIOS

  • Toma de imagen SE y BSE en alto vacío, bajo vacío y modo ambiental ESEM.
  • STEM para la observación de muestras en modo de transmisión
  • Micro-análisis por dispersión de energías de rayos-X (EDX)
  • Litografía por haz de electrones (EBL)

TARIFAS

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Reserva de horas al correo electrónico fesemcien@uc.cl

o al número de teléfono 223541441.

UBICACIÓN

Laboratorio CIENUC FESEM

EQUIPAMIENTO LABORATORIOS ASOCIADOS AL CIEN-UC


El CIEN-UC, gracias a la relación entre las facultades de Ingeniería, Física y Química; cuenta con una variedad de equipos de investigación que le permiten desarrollar investigaciones en diversos campos relacionados con la Nanotecnología y la Ciencia de Materiales.

Algunos de estos equipos son:

  • Osciloscopio
  • Fuentes de poder
  • Multímetros
  • Estación de prueba de semiconductores (probe station)
  • Analizador de parámetros de semiconductores
  • Analizador de redes vectoriales
  • Microscopio petrográficos (polarizador) de luz transmitida
  • Microscopio electrónico de barrio (SEM) de alta resolución con detectores SE, BSE, CL y EDS
  • Cluster computacional con capacidad de 64 núcleos
  • Mini-etalómetro microAeth AE51
  • Medidor continuo de concentración de partículas Dustrack 8530II
  • Medidor MetOne Particulate Profiler 212-1
  • Muestreador electrostático EspNano100
  • Muestreador Partisol2000i (exteriores)
  • Muestreadores TAS (interiores)
  • Evaporador por haz de electrones
  • Sistema de medidas de transporte eléctrico a bajas temperaturas
  • Simulador solar
  • Espectrómetro y lámpara UV-VIS-NIR
  • Reactor de deposición química de vapor (CVD)
  • Circuito ferroléctrico RT66B-Radiant Tech

 

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