Proyectos de Investigación:
1) Fabricación y caracterización de recubrimientos duros antidesgaste utilizados en herramientas de corte industrial mediante técnicas de deposición de vapor.
2) Caracterización de películas delgadas con propiedades ferroeléctricas para el desarrollo de sensores de alta precisión y selectividad de gases, polímeros y materia blanda.
Equipamiento principal:
Sala Limpia: Espacio de 15 m2 presurizado con aire de material particulado menor a 200 nm (filtros HEPA). El espacio incluye zona de trabajo con campana de extracción (rapidez de extracción de 1 m/s), agua nanopura (incluida limpieza UV), nitrógeno para limpieza de sustratos y una zona de transición para proveer al usuario de ropa y accesorios requeridos para trabajar al interior.
Reactor de deposición química de vapor (CVD): Reactor CVD de tres zonas modelo GSL-1500x-OTF (MTI), alcanza hasta 1400 ºC con una fluctuación de temperatura menor a 1 ºC. Incluye sistema de inyección controlada de gases (N2, O2, H2 y CH4) con capacidad para adicionar 5 especies de gases más al sistema, más evaporador de TiCl4 para generar recubrimientos de Ti(C,N).
Circuito Ferroeléctrico RT66B-Radiant Tech.: Circuito Sawyer-Tower optimizado para la caracterización eléctrica de películas delgadas mediante curvas IV, CV, PV, fatiga, entre otras. Sistema integrado con software Vision para la programación de tareas y secuencias específicas. Posee voltaje máximo de 20V y precisión de corriente en el rango de pA.
